[기술 자료] - 설비 진단의 이해 (센서 편 #5)

※ 설비 진단의 이해 - 센서 편 #5

◈ MEMS(Micro Electronics Mechanical Systems) 센서

MEMS 센서는 반도체 타입 센서로서 가장 최신에 개발되어 다음과 같은 특징을 갖고 있고 모든 산업 분야에 걸쳐 사용되고 있습니다. 

• 기계적인 구조의 센서에 비해 정밀도 및 신뢰성이 매우 우수하다.
• 교정이 필요하지 않다.
• 별도의 신호 컨디셔닝 장치가 필요 없이 단지 낮은 전원 전압 공급만 하면 된다.
• 하나의 센서에 여러 개의 센서를 조립하여 사용할 수 있다.
• 센서의 탈 부착이 매우 쉽다.

그림 1.  MEMS 정정용량식(Capacitive) 가속도 센서 구조

그림 2. MEMS 압저항식(Piexo-resistive) 가속도 센서 구조

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